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河北凈化車間如何控制車間中的濕度?

人氣:2348 發(fā)表時(shí)間:2021-07-05

潔凈室的濕度關(guān)鍵是依據(jù)加工工藝標(biāo)準(zhǔn)來(lái)確定的,但在考慮加工工藝規(guī)定的標(biāo)準(zhǔn)下,應(yīng)充分考慮人員的舒適感。隨之空氣潔凈度要求的提升,出現(xiàn)了加工工藝對(duì)溫度濕度的規(guī)定也愈來(lái)愈嚴(yán)??傮w標(biāo)準(zhǔn)看,因?yàn)樯a(chǎn)加工精密度愈來(lái)愈細(xì)致,因此對(duì)溫度起伏范疇的規(guī)定愈來(lái)愈小。比如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光加工工藝中,做為掩膜板原材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差規(guī)定愈來(lái)愈小。直徑100 um的硅片,溫度升高1度,就造成了0.24um線形澎漲,因此務(wù)必有±0.1度的控溫,另外環(huán)境濕度值通常較低,由于人流汗之后,對(duì)產(chǎn)品將有污染,尤其是怕鈉的半導(dǎo)體材料生產(chǎn)車間,這類車間不宜超出25度。

環(huán)境濕度過(guò)高造成的問(wèn)題會(huì)很多??諝庀鄬?duì)濕度超出55%時(shí),冷卻水管壁上將會(huì)結(jié)露,假如出現(xiàn)在高精密設(shè)備或電源電路中,就會(huì)造成各種各樣安全事故??諝鉂穸仍?0%易銹蝕。除此之外,環(huán)境濕度太高時(shí)將根據(jù)空氣中的水分子把硅片表層黏著的塵土化學(xué)吸咐在表層不好消除??諝鉂穸仍礁?黏附的越難除掉,但當(dāng)空氣濕度小于30%時(shí),又因?yàn)殪o電力的功效使粒子也非常容易吸咐于表層,同時(shí)大量半導(dǎo)體器件非常容易產(chǎn)生熱擊穿。針對(duì)硅片生產(chǎn)制造溫度范疇為35—45%。


 

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