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潔凈車間對環(huán)境有著怎樣的嚴(yán)格要求?

人氣:2427 發(fā)表時間:2021-05-21

河北潔凈車間消除了一定空間內(nèi)空氣中的顆粒,有害空氣,細(xì)菌和其他污染物,并根據(jù)一定的需求控制室內(nèi)溫度,清潔度,壓力,空氣流速和空氣分布,噪聲,振動,照明和靜電 范圍內(nèi)的工程學(xué)科。 潔凈室經(jīng)過特殊設(shè)計的房間能夠保持原始設(shè)定要求的潔凈度,溫度,濕度和壓力,而不受外部空氣條件的變化的影響。 這比使用湍流來描述湍流潔凈室更為準(zhǔn)確和全面。 湍流主要由雷諾數(shù)決定,潔凈室也主要受流速影響。 但是,如果使用高效的過濾器頂送空氣供應(yīng)形式,則即使流速極低,也將產(chǎn)生上述結(jié)果。 這是因為它是突然流動和不均勻流動。 因此,在這種情況下,不僅由于湍流引起流體層之間的混合,而且由于整個室內(nèi)的大的回流和渦旋而引起的混合。  

 

特定過程的溫度要求將在后面列出。 潔凈室,但作為一般原則,隨著加工精度的提高,對溫度波動范圍的要求越來越小。 例如,在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,要求玻璃和作為掩模材料的硅晶片的熱膨脹系數(shù)之間的差越來越小。 當(dāng)溫度升高1度時,直徑為100 um的硅晶片將引起0.24 um的線性膨脹。 因此,它必須具有±0.1度的恒定溫度。 同時,通常要求濕度值要低,因為人出汗后,產(chǎn)品將被污染和清潔。 房間尤其是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這種車間不應(yīng)超過25度。


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